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*'''B81  微观结构技术'''
**B81B  微观结构的装置或系统，例如，微观机械装置
**B81C  特别适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
*'''B82  超微技术'''
**B82B  超微结构；超微结构的制造或处理

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