IPC分部：微观结构技术；超微技术

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  • B81 微观结构技术
    • B81B 微观结构的装置或系统，例如，微观机械装置
    • B81C 特别适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
  • B82 超微技术
    • B82B 超微结构；超微结构的制造或处理
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