IPC分部:微观结构技术;超微技术
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B81 微观结构技术
B81B 微观结构的装置或系统,例如,微观机械装置
B81C 特别适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B82 超微技术
B82B 超微结构;超微结构的制造或处理
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